低溫等離子體作為一種高效、低能耗、處理量大、操作簡單的環保新技術常用來處理有毒、有害及難降解物質。低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度有一個很寬的應用範圍。反應條件為常溫常壓,反應器結構簡單,低溫等離子設備可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用),不會産生二次污染。就經濟可行性來說,低溫等離子體反應裝置本身系統構成單一緊湊;在運行費用方面,微觀來講,因放電過程隻提高電子溫度而離子溫度基本保持不變,這樣反應體系就得以保持低溫,所以不僅能量利用率高,設備維護費用也很低。
低溫等離子體技術在氣态污染物治理方面優勢顯着。其基本原理是在電場的加速作用下,産生高能電子,當電子平均能量超過目标治理物分子化學鍵能時,分子鍵斷裂,達到消除氣态污染物的目的。