低溫等離子體作為一種高效、低能耗、處理量大、操作簡單的環保新技術常用來處理有毒、有害及難降解物質。低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度有一個很寬的應用範圍。反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會産生二次污染。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成單一緊湊；在運行費用方面，微觀來講，因放電過程隻提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，設備維護費用也很低。